静電容量センサ

静電容量センサは、導電性のターゲットの位置または位置変化を高分解能で測定できる非接触式デバイスです。分解能がナノメートル単位の、この高性能な静電容量センサは現在のナノテクノロジー業界で不可欠となっています。また、このセンサは、絶縁性のターゲットの位置やその他特性を測定することもできます。

静電容量センサ製品セレクター

 

エリートシリーズ

最高性能
モジュール設計

エリート静電容量センシング

コンパクト ドライバ

優れたパフォーマンス
コンパクトなサイズ

CD 静電容量センサ

CPA100

アナログ近接
低コスト

CPA100 静電容量センサ

範囲

10 µm ~ 6 mm 25 µm ~ 2.5 mm 50 µm ~ 6 mm

標準分解能*
@ 15 kHz

0.004%* 0.008%* 0.03%*

最高分解能* @ 15 kHz

0.4 nm 3.6 nm 150 nm

直線性*

0.2% 0.2% 非直線性

最大帯域幅

15 kHz 15 kHz 15 kHz

ゼロ/オフセット調整

あり なし あり

ゲイン調整

なし なし あり

セットポイント/スイッチ
出力

なし なし あり

熱ドリフト*

0.04% F.S./°C 0.04% F.S./°C 0.2% F.S./°C

LED レンジ インジケータ

あり なし あり

その他の機能

オプションの信号処理
およびメーター モジュール

簡単な DAQ 接続

組込み型/OEM 設計 リモートゼロおよびゲイン

*プローブと範囲により異なる

エリートシリーズ静電容量センサおよびシステム エリートシリーズ

エリートシリーズのセンサは、特定の用途に合わせてカスタム設定できるフレキシビリティと、入手して即座に簡単に使用できる特徴を備えています。

エリートシリーズ CPL190 および CPL290 静電容量センサ ドライバ モジュール

CPL シリーズ静電容量センサ モジュールは当社の最高性能のセンサです。分解能は「ナノメートル以下」まで高めることができます。フロントパネルのレンジ インジケータと粗/微調整により、このセンサ モジュールは簡単にセットアップできます。

CPL190 は、単一プローブによりシングルレンジで較正します。

CPL290 は、単一プローブまたはプローブ 2 本により 2 つのレンジで較正し、フレキシビリティを最大限に高めることができます。

静電容量センサ

CPL190 静電容量センサ CPL290 静電容量センサ

 

輸出上の要件

エリートシリーズは高分解能であるため、一部の国に輸出する場合に輸出承認書が必要となります。

仕様

標準的な仕様です。分解能と直線性はプローブ、レンジ、および帯域幅に依存します。詳細については、プローブおよびレンジを参照してください。

分解能

0.002% ~ 0.004% F.S.
標準

帯域幅 (-3db) (PCB ディップスイッチ)

15 kHz, 10 kHz,
1 kHz, 100 Hz

直線性

0.2%F.S.

エラーバンド

0.3%F.S.

最大ドリフト

0.04%F.S./°C

BNC 出力電圧

±10 V

BNC 出力インピーダンス

0 Ω、15 mA 最大

後部パネルの National Instruments インターフェース コネクタ 出力電圧

差動 ±10 V

動作温度

4°C ~ 50°C

 

mm190 メートル モジュールエリートシリーズ MM190:信号処理およびメーター モジュール

測定チャンネル数と注文したサポート モジュールに応じて、すべての Eurocard モジュールを 1、2、3、6、または 8 チャンネル システムに収めることができます。

仕様

BNC 出力スケーリング エラー:

-3.0%

内部スケーリング エラー:

0.2%

差分エラー:

0.2%

加算エラー:

0.2%

周波数に対するトラッキング TIR エラー:
(100Hz 未満では推奨しません)

10 Hz:-15.0%
100 Hz:±0.3%
1 kHz:±1.5%
5 kHz: ±4.0%

入力周波数に対するトラッキング TIR エラー:

DC:-15.0%
1 kHz:±1.3%
5 kHz: ±4.0%

ピークドループ:

1 mV/15 秒

BNC 出力インピーダンス

150 Ω

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイト製品カタログをご覧ください。

静電容量センサ:コンパクト ドライバ
コンパクト ドライバ静電容量センサマルチチャンネル ドライバ

輸出上の要件

コンパクト ドライバは高分解能であるため、一部の国に輸出する場合に輸出承認書が必要となります。

仕様

標準的な仕様です。実効値はプローブとキャリブレーションに応じて異なります。詳細については、プローブおよびレンジを参照してください。

分解能

0.008% F.S. RMS
標準

帯域幅

最大 15 kHz (-3dB)

エラーバンド

0.3% F.S.

最大ドリフト

0.04% F.S./°C

出力電圧

±10 V

出力インピーダンス

0 Ω

動作温度

4°C ~ 50°C

入力電源

±15 VDC @ 50 mA/チャンネル

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイト製品カタログをご覧ください。

静電容量センサ:CPA100 および CPA101
高精度アナログ近接スイッチ

CPA100 静電容量センサ

輸出上の要件

CPA100 は高分解能であるため、一部の国に輸出する場合に輸出承認書が必要となります。
CPA101 にはさまざまな分解能の仕様があり、輸出承認書による遅延なしに出荷することができます。

仕様

標準的な仕様です。実効値はプローブと較正に応じて異なります。

分解能
@ 15 kHz、中域

CPA100:0.03% RMS
標準

CPA101:0.3 µm RMS 以上

帯域幅

15 kHz (-3dB)

直線性

非直線性

最大ドリフト

0.2%F.S./°C

アナログ出力

0 ~ 10 VDC、0 Ω

セットポイント出力

ソリッドステートのスイッチ閉鎖:
30 VAC/60 VDC 最大
オン状態:2.5 Ω、100mA 最大
オフ状態漏れ:10µA 最大

出力インピーダンス

0 Ω

動作温度

4°C ~ 50°C

入力電源

15 ~ 24  VDC、2.5 W

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイト製品カタログをご覧ください。

静電容量プローブのコレクション静電容量センサ:プローブ

プローブ検出領域

プローブ検出領域はプローブの測定範囲を決定します。

より大きい検出領域 = より大きい範囲

プローブ-センサ

検出領域は文字指定で、プローブ本体のスタイルと合わせて C30-C (C30 の本体スタイルと C サイズの検出領域) のようにプローブの型番で表示します。

対象領域の直径は検出領域の直径の 130% である必要があり、それ以外の場合にはカスタムの較正が必要です。

プローブ動作環境

4°C ~ 50°C

結露を防止し、システムを目標の温度領域に合わせて較正した場合、プローブは極低温も含めて低温条件で使用することができます。

プローブは真空対応タイプとして注文することもできます。

プローブ本体のスタイル

1 mil = 0.001"

スタイル

本体 | 長さ

ケーブル出口

モデル

サイズ

検出領域 - 直径

範囲

エリートシリーズ


µm
mil

コンパクト
ドライバ


µm
mil

CPA100


µm
mil
8 mm 円筒状 C30 プローブ 41mm ストレート C30

8mm

B または D 検出領域に対応

B 検出領域
B - 3.2 mm

50, 500, 1250
2, 20, 50
50, 500
2, 20
500, 1250
20, 50
C36 プローブ 24mm ストレート C36 D
D - 2.0 mm
10, 50, 250, 500
0.4, 2, 10, 20
50, 250
2, 10
500, 1250
20, 50
5 mm 円筒状 C3 プローブ 28mm ストレート C3

5mm

D、E または F 検出領域に対応

D
D - 2.0 mm
10, 50, 250, 500
0.4, 2, 10, 20
50, 250
2, 10
250, 500
10, 20
C5 プローブ 16mm ストレート C5 E
E - 0.8 mm
25, 100
1, 4
100
4
C6 プローブ 16mm 90° C6 F
F - 0.5 mm
10, 50, 80
0.4, 2, 3
50, 80
2, 3
3/8" 円筒状 C1 プローブ 1.6" ストレート C1

3/8"

A 検出領域に対応

A
A - 0.220"
50, 500, 2000
2, 20, 80
50, 500
2, 20
500, 2000
20, 80
C2 プローブ 0.75" ストレート C2
矩形 R2 プローブ   ストレート R2

2.25" x 1.75"

H 検出領域に対応

H
H - 0.750"
2500, 6000
100, 250
2500
100
6000
250

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイト製品カタログをご覧ください。

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