業界リーダーによる高性能な 非接触測定および検出

静電容量センサは、導電性のターゲットの位置または位置変化を高分解能で測定できる非接触式デバイスです。分解能がナノメートル単位の、この高性能な静電容量センサは現在のナノテクノロジー業界で不可欠となっています。また、このセンサは、絶縁性のターゲットの位置やその他特性を測定することもできます。

静電容量センサ製品セレクター

	エリートシリーズ 最高性能 モジュール設計	コンパクト ドライバ 優れたパフォーマンス コンパクトなサイズ	CPA100 アナログ近接 低コスト
範囲	10 µm ～ 6 mm	25 µm ～ 2.5 mm	50 µm ～ 6 mm
標準分解能* @ 15 kHz	0.004%*	0.008%*	0.03%*
最高分解能* @ 15 kHz	0.4 nm	3.6 nm	150 nm
直線性*	0.2%	0.2%	非直線性
最大帯域幅	15 kHz	15 kHz	15 kHz
ゼロ／オフセット調整	あり	なし	あり
ゲイン調整	なし	なし	あり
セットポイント／スイッチ 出力	なし	なし	あり
熱ドリフト*	0.04% F.S./°C	0.04% F.S./°C	0.2% F.S./°C
LED レンジ インジケータ	あり	なし	あり
その他の機能	オプションの信号処理 およびメーター モジュール 簡単な DAQ 接続	組込み型／OEM 設計	リモートゼロおよびゲイン

*プローブと範囲により異なる

エリートシリーズ静電容量センサおよびシステム

• 最高のパフォーマンス
• センシング チャンネル数 1 ～ 8
• 利用可能なモジュール：
  • CPL190 シングルレンジ静電容量センサ モジュール
  • CPL190 ダブルレンジ静電容量センサ モジュール
  • MM190 ディスプレイ／ピーク キャプチャ モジュール
• オプションとして 1、2、3、6、および 8 スロット
• LabVIEW™ 用
• プローブは真空対応タイプとして注文することもできます。

エリートシリーズのセンサは、特定の用途に合わせてカスタム設定できるフレキシビリティと、入手して即座に簡単に使用できる特徴を備えています。

エリートシリーズ CPL190 および CPL290 静電容量センサ ドライバ モジュール

CPL シリーズ静電容量センサ モジュールは当社の最高性能のセンサです。分解能は「ナノメートル以下」まで高めることができます。フロントパネルのレンジ インジケータと粗／微調整により、このセンサ モジュールは簡単にセットアップできます。

CPL190 は、単一プローブによりシングルレンジで較正します。

CPL290 は、単一プローブまたはプローブ 2 本により 2 つのレンジで較正し、フレキシビリティを最大限に高めることができます。

 

• 有効範囲：10 µm ～ 6 mm
• 切替可能デュアルレンジ／感度 (CPL290)
• ±10 V 出力
• 15 kHz 帯域
• 0.004% 分解能 @ 15 kHz 標準 (RMS)
  • プローブ／範囲に依存、
• ユーザー選択が可能な帯域幅フィルタでさらに高い分解能を実現 (100Hz、1kHz、10kHz)
• 小さい位相シフト - サーボ用途に最適
• 粗／微調整可能なゼロ点調整
• ゼロ点調整は無効
• 可視式レンジ インジケータ
• 単一または複数のチャンネル筐体
• LabVIEW™ 用
• プローブは真空対応タイプとして注文することもできます。

輸出上の要件

エリートシリーズは高分解能であるため、一部の国に輸出する場合に輸出承認書が必要となります。

仕様

標準的な仕様です。分解能と直線性はプローブ、レンジ、および帯域幅に依存します。詳細については、プローブおよびレンジを参照してください。

分解能	0.002% ～ 0.004% F.S. 標準
帯域幅 (-3db) (PCB ディップスイッチ)	15 kHz, 10 kHz, 1 kHz, 100 Hz
直線性	0.2%F.S.
エラーバンド	0.3%F.S.
最大ドリフト	0.04%F.S./°C
BNC 出力電圧	±10 V
BNC 出力インピーダンス	0 Ω、15 mA 最大
後部パネルの National Instruments インターフェース コネクタ 出力電圧	差動 ±10 V
動作温度	4°C ～ 50°C

 

エリートシリーズ MM190：信号処理およびメーター モジュール

• 次元単位の高輝度表示
• インチまたは mm 単位での表示を選択
• 2 チャンネル信号の加算
• ピークキャプチャ機能
  - 最大
  - 最小
  - TIR
  - トラッキング TIR
• 処理済み信号電圧出力
  

測定チャンネル数と注文したサポート モジュールに応じて、すべての Eurocard モジュールを 1、2、3、6、または 8 チャンネル システムに収めることができます。

仕様

BNC 出力スケーリング エラー：	-3.0%
内部スケーリング エラー：	0.2%
差分エラー：	0.2%
加算エラー：	0.2%
周波数に対するトラッキング TIR エラー： (100Hz 未満では推奨しません)	10 Hz：-15.0% 100 Hz：±0.3% 1 kHz：±1.5% 5 kHz： ±4.0%
入力周波数に対するトラッキング TIR エラー：	DC：-15.0% 1 kHz：±1.3% 5 kHz： ±4.0%
ピークドループ：	1 mV/15 秒
BNC 出力インピーダンス	150 Ω

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイトの製品カタログをご覧ください。

静電容量センサ：コンパクト ドライバ
マルチチャンネル ドライバ

• 最大チャネル数 6
• 有効範囲：25 µm ～ 2.5 mm
• ±10 V 出力
• 15 kHz 帯域
• 0.008% 分解能 @ 15 kHz (RMS) (プローブ／レンジに依存)
• 個別に較正して最大性能を発揮
• ユーザーによる調整が不要
• 差分およびシングルエンド出力
• 小型、高密度のパッケージ
• OEM および組込み型アプリケーション
• 別途電源および信号「D」コネクタ
• ±15 VDC 電源
• プローブは真空対応タイプとして注文することもできます。

輸出上の要件

コンパクト ドライバは高分解能であるため、一部の国に輸出する場合に輸出承認書が必要となります。

仕様

標準的な仕様です。実効値はプローブとキャリブレーションに応じて異なります。詳細については、プローブおよびレンジを参照してください。

分解能	0.008% F.S. RMS 標準
帯域幅	最大 15 kHz (-3dB)
エラーバンド	0.3% F.S.
最大ドリフト	0.04% F.S./°C
出力電圧	±10 V
出力インピーダンス	0 Ω
動作温度	4°C ～ 50°C
入力電源	±15 VDC @ 50 mA/チャンネル

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイトの製品カタログをご覧ください。

静電容量センサ：CPA100 および CPA101
高精度アナログ近接スイッチ

• 有効範囲：50 µm ～ 6 mm
• 15 kHz 帯域
• CPA100 分解能：0.03% RMS @ 15 kHz @ 中域
• CPA101 分解能：0.3 µm (RMS) 以上 @15 kHz @ 中域
• 0 ～ 10 V 出力
• セットポイント／スイッチ出力
• 可変ゲインとゼロ
• 外部ゲインおよび零位調整接続
• DIN レールケース
• マルチチャンネル同期
• プローブは真空対応タイプとして注文することもできます。

輸出上の要件

CPA100 は高分解能であるため、一部の国に輸出する場合に輸出承認書が必要となります。
CPA101 にはさまざまな分解能の仕様があり、輸出承認書による遅延なしに出荷することができます。

仕様

標準的な仕様です。実効値はプローブと較正に応じて異なります。

分解能 @ 15 kHz、中域	CPA100：0.03% RMS 標準 CPA101：0.3 µm RMS 以上
帯域幅	15 kHz (-3dB)
直線性	非直線性
最大ドリフト	0.2%F.S./°C
アナログ出力	0 ～ 10 VDC、0 Ω
セットポイント出力	ソリッドステートのスイッチ閉鎖： 30 VAC/60 VDC 最大 オン状態：2.5 Ω、100mA 最大 オフ状態漏れ：10µA 最大
出力インピーダンス	0 Ω
動作温度	4°C ～ 50°C
入力電源	15 ～ 24  VDC、2.5 W

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイトの製品カタログをご覧ください。

静電容量センサ：プローブ

プローブ検出領域

プローブ検出領域はプローブの測定範囲を決定します。

より大きい検出領域 = より大きい範囲

検出領域は文字指定で、プローブ本体のスタイルと合わせて C30-C (C30 の本体スタイルと C サイズの検出領域) のようにプローブの型番で表示します。

対象領域の直径は検出領域の直径の 130% である必要があり、それ以外の場合にはカスタムの較正が必要です。

プローブ動作環境

4°C ～ 50°C

結露を防止し、システムを目標の温度領域に合わせて較正した場合、プローブは極低温も含めて低温条件で使用することができます。

プローブは真空対応タイプとして注文することもできます。

プローブ本体のスタイル

1 mil = 0.001"

スタイル	本体 | 長さ		ケーブル出口	モデル	サイズ	検出領域 - 直径	範囲
							エリートシリーズ µm mil	コンパクト ドライバ µm mil	CPA100 µm mil
8 mm 円筒状		41mm	ストレート	C30	8mm B または D 検出領域に対応	B - 3.2 mm	50, 500, 1250 2, 20, 50	50, 500 2, 20	500, 1250 20, 50
		24mm	ストレート	C36		D - 2.0 mm	10, 50, 250, 500 0.4, 2, 10, 20	50, 250 2, 10	500, 1250 20, 50
5 mm 円筒状		28mm	ストレート	C3	5mm D、E または F 検出領域に対応	D - 2.0 mm	10, 50, 250, 500 0.4, 2, 10, 20	50, 250 2, 10	250, 500 10, 20
		16mm	ストレート	C5		E - 0.8 mm	25, 100 1, 4	—	100 4
		16mm	90°	C6		F - 0.5 mm	10, 50, 80 0.4, 2, 3	—	50, 80 2, 3
3/8" 円筒状		1.6"	ストレート	C1	3/8" A 検出領域に対応	A - 0.220"	50, 500, 2000 2, 20, 80	50, 500 2, 20	500, 2000 20, 80
		0.75"	ストレート	C2
矩形			ストレート	R2	2.25" x 1.75" H 検出領域に対応	H - 0.750"	2500, 6000 100, 250	2500 100	6000 250

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイトの製品カタログをご覧ください。

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