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業界リーダーによる高性能な
非接触測定および検出
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渦電流センサ

渦電流センサは、導電性のターゲットの位置または位置変化を高分解能で測定できる非接触式デバイスです。また、渦電流センサは誘導センサとも呼ばれており、一般に「渦電流」は高精度変位測定器 (または非破壊試験プローブ) を指しています。また「誘導」とは安価な近接スイッチを指しています。汚染環境での高い分解能と精度により、渦電流センサは現在の生産工程に不可欠となっています。

渦電流センサ製品セレクター

最高 - 最高 | より優れている - より優れている | 良好 - 良好

ドライバの比較

ECL202

b

ECL101

ECA101

eca100

ECD140

 

ecd140 渦電流位置センサ

標準分解能*
@ 10 kHz*

非鉄

 0.005% 0.009% 0.02% 0.005%

鉄

 0.007% 0.011% 0.02% 0.007%

直線性*

非鉄

 0.2% 0.25% 非直線性 0.2%

鉄

 0.5% 非直線性

最大帯域幅

 15 kHz 80 kHz 10 kHz 15 kHz

ユーザーが選択可能な
帯域幅 (kHz)

 0.1, 1, 10, 15 なし なし なし

ゼロ／オフセット調整

 押しボタン ネジ ネジ なし

ゲイン調整

 なし ネジ ネジ なし

セットポイント／スイッチ
出力

 あり なし あり なし

セットポイント調整

 押しボタン 該当しない ネジ なし

EMI 耐性

 最高 良好 良好 最高

熱ドリフト*

 最高 良好 良好 最高

LED レンジ インジケータ

 あり あり あり あり

その他の機能

 デジタル技術
マルチユニット用の DIN レールバス		 DIN レール取り付け DIN レール取り付け National Instruments の CompactRIO および LabVIEW 用

* プローブ／範囲／較正に応じて異なります

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ECL202 および ECL203 渦電流変位センサ

ECL202 渦電流センサ性能

特徴

輸出上の要件

ECL202 は高分解能であるため、一部の国に輸出する場合に輸出承認書が必要となる場合があります。ECL203 にはさまざまな分解能の仕様があり、輸出承認書による遅延なく出荷することができます。

仕様

標準的なターゲットおよびプローブでの標準的な仕様です。実効値はプローブ、ターゲット、および較正に応じて異なります。

分解能：
RMS、標準

プローブと範囲に応じて異なります。

ECL202

0.006% RMS (非鉄)
0.008% RMS (鉄)

ECL203

 0.3 µm RMS 以上

直線性

 範囲の 0.2%

エラーバンド

 範囲の 0.4%

帯域幅

ECL202

 選択可能なオプション：100 Hz, 1 kHz, 10 kHz, 15 kHz

ECL203

 15 kHz

ドライバの熱ドリフト
(15°C ～ 50°C)

材料

プローブ

ドリフト
非鉄 U3 0.04% F.S./°C
U5 0.1% F.S./°C
U8 0.04% F.S./°C
U12
U18
U2
U38
U50
鉄 U3 0.08% F.S./°C
U5 0.1% F.S./°C
U8 0.04% F.S./°C
U12
U18
U25
U38
U50

プローブの熱ドリフト
(15°C ～ 65°C、注記がある場合を除く)

材料

プローブ

ドリフト
非鉄 U3 0.04% F.S./°C
U5 0.04% F.S./°C
U8 0.02% F.S./°C
U12 0.02% F.S./°C
U18 0.01% F.S./°C
U25
U38
U50
鉄 U3 0.04% F.S./°C
(15°C ～ 35°C)
0.08% F.S./°C
(15°C ～ 65°C)
U5 0.1% F.S./°C
U8 0.04% F.S./°C
U12 0.03% F.S./°C
U18 0.01% F.S./°C
U25 0.01% F.S./°C
U38 0.02% F.S./°C
U50 0.01% F.S./°C

アナログ出力

0 ～ 10 VDC、0 Ω、15 mA

スイッチ出力

30 VAC/60 VDC/100 mA

入力電源

15 ～ 28 VDC
2.5  W

ドライバの動作温度

4°C ～ 50°C

プローブの動作温度

標準プローブには PUR (ポリウレタン) 被覆ケーブルが付属しています。高温プローブには FEP 被覆が付いています。

他の温度範囲も可能な場合があります。詳細については、当社までお問い合わせください。

U3 プローブ

標準プローブ (PUR ケーブル)：
-25°C ～ +125°C
(オプションの FEP ケーブルで利用可能)

高温バージョンなし
U5-18 プローブ

標準プローブ：
-25°C ～ +125°C

高温プローブ：
-25°C ～ +200℃
U25-50 プローブ

標準プローブ：
-25°C ～ +125°C

高温プローブ：
-25°C ～ +175℃

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイトの製品カタログをご覧ください。

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ECL101 渦電流変位センサ

ecl100性能

特徴

輸出上の要件

ECL101 は高分解能であるため、一部の国に輸出する場合に輸出承認書が必要となる場合があります。

仕様

標準的なターゲットおよびプローブでの標準的な仕様です。実効値はプローブ、ターゲット、および較正に応じて異なります。

分解能：

 0.008% (非鉄)、0.009% (鉄)

直線性

 範囲の ±0.50%。

中域でのプローブの熱ドリフト

範囲／°F の ±0.02%
範囲/°C の ±0.04%

出力

0 ～ 10 VDC
0 ～ 20 mA

入力電源

12 ～ 24 VDC
130 mA （15 VDC で)

動作温度

40°F ～ 120°F
4°C ～ 50°C

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイトの製品カタログをご覧ください。

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ECA101 渦電流変位センサ

sd性能

特徴

仕様

標準的なターゲットおよびプローブでの標準的な仕様です。実効値はプローブ、ターゲット、および較正に応じて異なります。

分解能*：
中域での RMS

DC-10kHz - 0.02% RMS

直線性

 非直線性

中域でのプローブの熱ドリフト

0.2%/°C

電圧出力

アナログ電圧：0 ～ 10 V

スイッチ出力

出力電圧が調整可能セットポイントを超えている場合にスイッチを切ります：
30 VAC/60 VDC/100 mA

入力電源

12 ～ 24 VDC
2 W

動作温度

4°C ～ 50°C
*P-P 分解能は 0.2% です。高い EMI 条件 (10 V/m) では、出力レベルがシフトしてノイズが、600mV RMS (6% の分解能) まで上昇する場合があります。

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイトの製品カタログをご覧ください。

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CompactRIO (National Instruments) 用 ECD140 および ECD141 渦電流変位センサ

ECD140 は、National Instruments の
CompactRIO システムに直接差し込んで LabVIEW で即座に使用することができます。

sd性能

特徴

輸出上の要件

ECD140 は高分解能であるため、一部の国に輸出する場合に輸出承認書が必要となる場合があります。ECD141 にはさまざまな分解能の仕様があり、輸出承認書による遅延なく出荷することができます。

LabVIEW、CompactRIO ドライバ

ファームウェア バージョン

デモ ファイル
Rev 2

ECD14x-Basic-Rev-2.zip (0.8M)
ECD14x-Multi-Chan-Demo-Rev-2.zip (1.8M)

対象ユーザー

ECD140 は、LabVIEW ユーザーを対象としており、RIO プラットフォームの FPGA および Real Time プロセッサ プログラミングで体験することができます。デバイスおよび同梱のソフトウェアは、高精度の非接触変位センサが必要になるシステム一式を、開発者が作成するためのツールキットです。このシステムは梱包から出して即座に使用することはできず、経験のある LabVIEW ユーザーが実装し、プログラミングする必要性があります。

仕様

標準的なターゲットおよびプローブでの標準的な仕様です。実効値はプローブ、ターゲット、および較正に応じて異なります。

分解能：

ECD140 分解能：0.002 ～ 0.025% RMS
ECD141 分解能：0.3 µm RMS 以上

直線性

 範囲の 0.2%

エラーバンド

 範囲の 0.4%

帯域幅

 15 kHz

ドライバの熱ドリフト

(15 °C ～ 50°C)		 非鉄 U8 プローブ

0.06% F.S./°C
U12 プローブ
鉄 U8 プローブ
U12 プローブ

プローブの熱ドリフト

(15 °C ～ 65°C、注記のある場合を除く)		 非鉄 U8 プローブ 0.02% F.S./°C
U12 プローブ 0.03% F.S./°C
鉄 U8 プローブ 0.04% F.S./°C
U12 プローブ 0.03% F.S./°C

ドライバの動作温度

4°C ～ 50°C

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイトの製品カタログをご覧ください。

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渦電流センサのプローブ

プローブの型番は、その直径と本体のスタイルによって指定されます。たとえば、U8C プローブは直径が 8mm で本体スタイルは「C」です。

プローブは真空対応タイプとして注文することもできます。

プローブ直径によって範囲が決まります。
より大きい検出領域 = より大きい範囲

標準プローブ直径の範囲

範囲と近傍ギャップは、プローブの直径に正比例しています。つまり、より大きいプローブの範囲と近傍ギャップはより大きくなります。

プローブは直径によって識別することができます。たとえば U5 プローブは直径 5mm です。

カスタム可能な範囲となっています。

cal

プローブ

レンジ

mm

近傍ギャップ

mm

U3

 0.50 0.05

U5

 1.25 0.25

U8

 2.00 0.35

U12

 3.50 0.60

U18

 5.00 0.75

U25

 8.00 1.25

U38

 12.5 1.50

U50

 15.0 2.00

 

プローブ本体のスタイル

b c

B

スタイルのプローブ

C

スタイルのプローブ

ナット 2 個またはネジ穴とナット 1 個で本体をネジ込んで取り付けます 滑らかな鋼製本体はクランプまたは止めねじで取り付けます

 

取り付けのクリアランス

取り付けるハードウェアや他の金属製の物体が精密計測を妨げるのを防ぐために、渦電流センサのプローブはプローブ径 X に応じて以下のクリアランスで取り付ける必要があります。

標準的な取り付け

カウンターボアの取り付け
標準的な取り付けのクリアランス カウンターボアの取り付けのクリアランス

 

プローブの動作温度

プローブの動作温度

標準プローブには PUR (ポリウレタン) 被覆ケーブルが付属しています。高温プローブには FEP 被覆が付いています。

他の温度範囲も可能な場合があります。詳細については、当社までお問い合わせください。

U3 プローブ

標準プローブ (PUR ケーブル)：
-25°C ～ +125°C
(オプションの FEP ケーブルで利用可能)

高温バージョンなし
U5-18 プローブ

標準プローブ：
-25°C ～ +125°C

高温プローブ：
-25°C ～ +200℃
U25-50 プローブ

標準プローブ：
-25°C ～ +125°C

高温プローブ：
-25°C ～ +175℃

 

プローブのケーブル

標準プローブには PUR (ポリウレタン) の被覆が付いています。高温プローブには FEP 被覆が付いています。FEP ケーブルは、標準温度範囲のプローブに合わせて、カスタムで注文することができます。

詳細については、当社の販売代理店にお問い合わせいただくか、英語版ウェブサイトの製品カタログをご覧ください。

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